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太陽電池用ウエハの輪郭位置アライメント
太陽電池用ウエハの輪郭位置アライメント
用途詳細
シリコンインゴッドの輪郭を抽出し、位置決めのための中心位置と角度を求めます。同時にエッジ上の欠けを検出。検出精度50um、視野250x180mm。
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