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シリコンウエハ表面欠陥検査
シリコンウエハ表面欠陥検査
用途詳細
シリコンウエハ表面チッピング、かけ、亀裂など欠陥検査。バンク角60°ローアングルリング照明にて、欠陥部を強調することが出来ます。
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