レーザ描画ライン数検査

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レーザ描画ライン数検査

用途詳細：

ラインスキャンカメラを使用して、ウエハをスキャンして画像を取得。傷検出ツールを使用して欠陥を検出します，

長さや面積などの制限条件を設定することにより、条件を満たすレーザ描画線を選別し、その数をカウントします。

速度1000mm/s、視野175mm。

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